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MEMS器件微流量流速检测中寄生电容干扰信号的抑制方法

杭州科技中介服务平台 2015年6月8日 浏览量: [ ][打印][关闭]

本发明涉及微流量测量技术领域的MEMS器件,是针对MEMS器件微流量流速检测中寄生电容干扰信号的抑制方法。该项目有实验样件,属于实验室研发阶段、小试。

本发明针对MEMS器件微流量流速检测中寄生电容干扰信号的抑制方法,可基本避免Si-Pt寄生电容的形成。实施例中采用发明所述寄生电容抑制方法连接屏蔽寄生电容后检测到的方波驱动输出响应信号正负尖脉冲输出响应的峰值从3.92V降为0.96V,寄生电容得到了有效抑制。